研究テーマ紹介

プラズマやレーザを利用して,様々なプロセスを研究・開発しています。

 

·         プラズマの生体応用(殺菌など)と,プラズマと生体の相互作用の解明

 

·         レーザ吸収分光法を用いたプラズマプロセスのモニタリング

 

·         光干渉法を用いた非接触基板温度・膜厚計測

 

·         高圧力マイクロプラズマを用いた分析用光源の開発

 

·         レーザ誘起ブレイクダウン分光法及び大気圧プラズマを用いた金属元素分析

 

·         プラズマプロセスを用いたカーボンナノ材料の創製とその応用

 

·         スパッタリングを用いた透明導電膜形成とそのプロセスモニタリング

 

·         テラヘルツ波分光法を用いたモニタリングに関する研究

 

·         プラズマ支援レーザ加工技術に関する研究